液態(tài)氮氣深冷分離法工藝已經(jīng)歷了 100 多年的發(fā)展,先后經(jīng)歷了高壓、高低壓、中壓和全低壓流程等多種不同的工藝流程。隨著(zhù)現代空分工藝技術(shù)和設備的發(fā)展,高壓、高低壓、中壓空分流程已基本被淘汰,能耗更低、生產(chǎn)更安全的全低壓流程已成為大中型低溫空分裝置。全低壓空分工藝根據氧氮產(chǎn)品壓縮環(huán)節不同,又分為外壓縮流程和內壓縮流程。全低壓外壓縮流程生產(chǎn)出低壓氧氣或氮氣,然后經(jīng)外置的壓縮機將產(chǎn)品氣體壓縮至所需壓力供給用戶(hù)。全低壓內壓縮流程將精餾產(chǎn)生的液態(tài)氧或液態(tài)氮在冷箱內通過(guò)液體泵加壓至用戶(hù)所需壓力后汽化,并在主換熱器內復熱后供給用戶(hù)。主要工藝過(guò)程為原料空氣過(guò)濾、壓縮、冷卻、純化、增壓、膨脹、精餾、分離、復熱、外供。